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所长李争显、副所长薛烽和张平则在论证会上进行了汇报和答疑。此次设备论证涉及表面所研发平台和检测分析平台建设急需的27台(套)设备以及4条中试示范线的关键设备,充分体现了原创性、先进性、必要性和经济性,特色鲜明,涵盖表面技术研发主要方向,将为表面所的发展提供必要支撑,同时对公共研发服务和高端人才培养也具有重要意义。第三代半导体核心部件等4条中试线在材料、工艺、装备以及应用方面具有明显的创新性,建成后对满足国家战略需求、突破国外卡脖子技术以及改善人民生命健康等均具有重要作用。
来源:泰州东城集团
审核、编辑:宣传科
发布:宣传科
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